クリーンルーム評価規格
中国のクリーンルーム分類規格と国際規格ISO 14644は、懸濁粒子濃度の単一指標に従って、関連する制御環境におけるクリーンルーム(面積)と空気清浄度を分類し、0.1um~5.0umの範囲で粒子サイズ限界(低限界)の累積分布を有する粒子群のみを考慮する。粒子径に応じて、通常の粒子(0.1um~5.0um)に分けることができる、超微粒子(1um~5.0um)< 0.1um)="" and="" macroparticles="" (="">5.0um)。
中国のクリーンルーム分類規格と国際規格ISO 14644は、懸濁粒子濃度の単一指標に従って、関連する制御環境におけるクリーンルーム(面積)と空気清浄度を分類し、0.1um~5.0umの範囲で粒子サイズ限界(低限界)の累積分布を有する粒子群のみを考慮する。粒子径に応じて、通常の粒子(0.1um~5.0um)に分けることができる、超微粒子(1um~5.0um)< 0.1um)="" and="" macroparticles="" (="">5.0um)。
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